半導體2026.10.09

Silicon Chip 外觀檢查機:正背面雙面同檢,藍膜上直接檢測

2,500 萬畫素工業相機、1.5 μm/pixel 解析度,可識別 3 μm 以上缺陷。黑白與彩色兩種機型,晶粒免取下、免翻料。

Silicon Chip 外觀檢查機:正背面雙面同檢,藍膜上直接檢測

Silicon Chip 外觀檢查機是辰祥針對晶粒外觀檢測開發的整機。晶粒留在藍膜上,由 X/Y/Z/θ 四軸電控平台定位,一次完成正面與背面的掃描。

關鍵規格

  • 正、背面各一套 2,500 萬畫素工業相機,解析度 1.5 μm/pixel
  • 可識別缺陷尺寸 > 3 μm,涵蓋暗裂、崩邊、晶粒角度與色偏
  • 適用晶粒 6 mil 至 150 mil,10 吋膠環檢測行程 195 × 195 mm
  • 機械手臂自動取放料,雙卡匣儲位,每匣 7 片

三光源複合照明

正向光呈現整體輪廓,高、低角度側向光強化邊緣裂縫與崩角的立體顯影,降低漏檢。

黑白或彩色,怎麼選

以幾何缺陷與暗裂為主,黑白機型對比最高;若客戶驗收包含色偏、氧化與汙染色差,建議選擇彩色機型。

歡迎提供晶粒樣品,我們先做取像驗證,再建議合適的機型。
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